ZYGO ZMI-2002 8020-0211 干涉测量仪 精密输入，毫秒反应

描述

ZYGO ZMI-2002 8020-0211 是 ZYGO 品牌中的一款高性能干涉仪。通过使用干涉原理，它可以进行 纳米级精度 的表面形貌及厚度测量，适合应用于 高精度光学元件制造、材料科学、半导体生产线 等需要严苛质量控制的环境。

该设备拥有高 信噪比，适应 各种光学表面 的测量要求，能够处理的 测量范围 非常广泛，包含从纳米到微米级别的表面测量。而且，它具有 实时图像反馈 功能，配合高分辨率显示屏，确保在复杂样品检测中的精准度和快速响应。

此款型号提供 强大的软件支持，能提供多种数据输出格式，兼容各种自动化控制系统，能够无缝接入工业生产环境，进行大规模生产监测与质量控制。

ZYGO ZMI-2002  8020-0211

主要特点和优势

• 高精度测量：能够精确测量 纳米至微米级别 的表面形貌和厚度，适用于各种精密材料检测。

• 非接触式测量：避免了传统接触式测量中可能引入的误差，保证了测量过程的非破坏性。

• 强大的数据处理能力：提供 实时数据分析，并支持多种输出格式，便于后期数据处理与分析。

• 适应性强：支持多种材料的表面检测，包括 光学镜片、半导体、薄膜 等。

• 集成性强：配备 自动化控制接口，可以与生产线自动化系统集成，提升整体生产效率和测量一致性。

技术规格参数

应用领域

ZYGO ZMI-2002 8020-0211 适用于各类 高精度测量 环境，尤其是以下领域：

• 半导体生产：精密测量 晶圆表面平整度 和 薄膜厚度。

• 光学元件制造：光学镜片、透镜、反射镜的 表面质量检测 和 波前测试。

• 材料科学：用于 微小表面形貌 和 厚度测量，如金属、陶瓷等材料的研究。

• 显示器和LCD制造：用于平面显示器的厚度控制与表面质量检查。

• 精密机械与加工：精确测量加工件的 表面形貌，确保工艺精度。

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型号	简要说明
ZYGO ZMI-2002 8020-0222	适用于更高分辨率要求的表面检测，针对半导体行业优化。
ZYGO ZMI-1000	基础型干涉仪，适用于中等精度表面形貌测量。
ZYGO GPI	精密 光学相位干涉仪，用于镜片、薄膜等精细表面测量。
ZYGO NewView 7300	高端表面形貌测量仪，采用 白光干涉技术，适用于多种复杂材料检测。

ZYGO ZMI-2002  8020-0211

安装与维护

安装要求：

• 确保设备安装环境无振动、无污染物，光线适宜。

• 安装时，设备应与测量表面保持 合理距离，避免误差。

• 使用 光学对准设备，确保检测区域与干涉光束轴线对准。

维护建议：

• 定期校准设备，以确保测量精度。

• 检查 光源稳定性，更换光源时建议使用原装配件。

• 清洁光学元件时，请使用无纤维的 镜面清洁布。