SMC INR-244-97B-B-X5 Thermo-Con 温控机 – 半导体、激光精密温控核心！

描述

SMC INR-244-97B-B-X5：这款高精度温控机（Chiller/Thermo-Con）是 $\text{SMC}$ 专为要求苛刻的半导体、激光及高精度分析领域设计的产品，负责提供极其稳定的循环冷却液。它本质上是一台工业级高精度循环冷水机（Recirculating Chiller），但与普通冷水机不同的是，它不仅能提供冷却，更关键的是能提供极高精度的温度稳定性。在许多尖端制造工艺中，比如半导体光刻（Photolithography）、激光加工或高端分析测试，即使是 $0.1^{\circ}\text{C}$ 的温度波动，都可能导致产品良率（Yield Rate）的显著下降。

型号中的 INR-244 代表了 $\text{SMC}$ 紧凑型、高性能温控机的系列归属。SMC INR-244-97B-B-X5 的核心定位，是作为这些精密设备的心脏，为激光器、反应腔体（Reaction Chamber）、或光学镜组提供一个恒定热沉（Constant Heat Sink）。它集成了压缩机制冷系统（或高效半导体制冷）和精密的 PID 控制器，能够快速响应负载热量变化，将循环液温度精确锁定在设定值。特别是后面的 $\text{X5}$ 后缀，这在 $\text{SMC}$ 的产品编码体系里可不是一个普通选项，它意味着这款机型针对特定的客户需求、流体兼容性（比如对去离子水 $\text{(DI Water)}$ 的兼容性）或特殊的通信协议进行了特殊定制（Special Customization），使其完美适配客户现场的特定应用环境。

SMC INR-244-97B-B-X5

主要特点和优势

高精度温控性能：

SMC INR-244-97B-B-X5 的核心竞争力就在于它的温度稳定性。它能将循环液的温度波动控制在 $\pm 0.1^{\circ}\text{C}$ 甚至更精密的范围内，这对于需要长时间连续运行的高热流密度（High Heat Flux Density）设备至关重要。这种卓越的稳定性得益于其优化的制冷回路（Refrigeration Circuit）设计和先进的比例-积分-微分 (PID, Proportional-Integral-Derivative) 控制算法，能对热负载的微小变化做出实时响应（Real-time Response）。

空冷型高适应性：

型号中的第二个 B（通常指 $\text{Air-Cooled}$ 空冷型）表明 SMC INR-244-97B-B-X5 采用空气作为散热介质，无需连接外部冷却塔（Cooling Tower）或工厂冷却水（Facility Water）。这种设计极大地简化了安装过程，降低了对工厂基础设施（Infrastructure）的依赖，使得其在空间受限或没有中央冷却水系统的实验室、洁净室（Cleanroom）或分布式生产单元中有着无可替代的优势。

定制化 $\text{X5}$ 选项：

$\text{X5}$ 标记是这款 INR-244-97B-B-X5 的灵魂所在。这种定制通常是为了应对特殊的工业环境和流体介质。例如，在半导体湿法工艺（Wet Process）中，它可能配备了非金属流体接触部件和去离子水 $(\text{DI Water})$ 兼容泵，以防止对高纯度循环液造成污染。同时，$\text{X5}$ 也可能包含了更高级的远程监控功能或特定的安全连锁（Safety Interlock）接口，使其能无缝集成到客户的设备自动化（Equipment Automation）系统中。

能源效率与可靠性：

作为一款工业级设备，SMC INR-244-97B-B-X5 在保证性能的同时，也注重运行的经济性。部分 $\text{INR-244}$ 型号采用了变频技术（Inverter Technology）来控制压缩机和循环泵，能够根据实际热负载需求动态调整功率输出，从而实现显著的节能效果（Energy Savings）。此外，它还配备了完善的故障自诊断（Self-Diagnosis）功能和报警系统，大大提高了系统的平均无故障时间（MTBF, Mean Time Between Failures）。

The SMC INR-244-97B-B-X5 stands out as a top-tier industrial thermal control unit defined by its exceptional precision and robust, application-specific features. Its core strength lies in maintaining fluid temperature with ultra-tight tolerance, often achieving stability better than $\pm 0.1^{\circ}\text{C}$. This capability is non-negotiable for advanced manufacturing processes, particularly where the integrity of laser output or semiconductor etching relies heavily on consistent thermal management. Being an Air-Cooled configuration, denoted by the model code, the INR-244-97B-B-X5 offers simplified installation and operational independence from complex facility water systems, making it a flexible solution for various industrial and laboratory environments.

The inclusion of the $\text{X5}$ custom option elevates this model beyond a standard chiller. This designation typically signifies specialized modifications like enhanced fluid path compatibility for high-purity media such as $\text{DI}$ water, specific flow and pressure characteristics tailored by the $\text{97B}$ code, and advanced communication protocols (e.g., $\text{RS-485}$) for seamless integration into the host tool’s Equipment Front End (EFE) control system. Its industrial-grade components and comprehensive diagnostic features ensure high reliability and minimal downtime, positioning the SMC INR-244-97B-B-X5 as a strategic asset for quality-critical production.

SMC INR-244-97B-B-X5 技术规格

参数名称	参数值
产品型号	INR-244-97B-B-X5
制造商	SMC Corporation
产品类型	高精度循环冷水机 / Thermo-Con
制冷能力	特定于 97B 代码（高容量 $\text{kW}$ 级）
温度设定范围	典型 $5^{\circ}\text{C}$ 到 $35^{\circ}\text{C}$ (或更广)
温度稳定性	优于 $\pm 0.1^{\circ}\text{C}$ (取决于负载)
制冷方式	空气冷却 (Air-Cooled)
供电电压	$200 \text{ VAC}$ 级三相或单相 (取决于 $\text{B}$ 代码)
制冷剂	环保型制冷剂 (如 $\text{R407C}$ 或 $\text{R410A}$，取决于具体型号)
循环液兼容性	水、乙二醇水溶液、或 $\text{DI}$ 水（取决于 $\text{X5}$）
通信接口	$\text{RS-232C}$ 或 $\text{RS-485}$ (通常由 $\text{X5}$ 确定)
报警功能	温度偏差、流体流量低、压缩机保护等
外形尺寸	紧凑型工业尺寸 (具体尺寸需查阅手册)

应用领域

SMC INR-244-97B-B-X5 凭借其出色的温度控制精度和为特殊应用提供的定制能力，在以下高端制造领域得到了广泛应用：

半导体和微电子制造： 这是 $\text{INR-244}$ 系列的核心市场。该模块主要用于为各种前端设备（Front-End Equipment）提供精确的热管理，包括光刻机（Stepper）的光源冷却、$\text{CVD}$（化学气相沉积）或 $\text{PVD}$（物理气相沉积）设备的反应腔体温度控制，以及晶圆探针台（Wafer Prober）的温度稳定。SMC INR-244-97B-B-X5 的 $\text{X5}$ 定制特性使其能够应对 $\text{DI}$ 水等高纯度流体的严苛要求。

高功率激光加工： 在激光切割、焊接或打标等应用中，激光器的输出功率和光束质量对工作温度极为敏感。SMC INR-244-97B-B-X5 为激光晶体、泵浦源和光学元件提供一个稳定的冷却环境，避免因温度漂移（Thermal Drift）导致的激光波长和功率不稳定，从而保障加工精度和效率。

精密机械和机床： 对于超精密加工机床的主轴、丝杠和液压系统，温升会严重影响加工件的尺寸精度。SMC INR-244-97B-B-X5 用于对这些关键部件进行恒温控制，抵消高速运转产生的热量，确保机床在恒定的热状态下工作，这对航空航天、医疗器械等领域的精密零部件制造至关重要。

生物医学和实验室分析： 在高精度的核磁共振（NMR）光谱仪、电子显微镜（Electron Microscope）或实验室反应堆中，SMC INR-244-97B-B-X5 提供稳定热交换，以维持实验条件的恒定，确保实验结果的准确性和可重复性。

安装与维护

安装前准备：在安装 SMC INR-244-97B-B-X5 之前，首先要确认其周围环境满足空冷型设备的基本要求：充足的散热空间。空气流通必须顺畅，确保进风口和出风口没有障碍物，这样才能保证高效散热和压缩机的寿命。其次，供电电压必须严格匹配型号代码 $\text{B}$ 所指定的 $200 \text{ VAC}$ 级电压，任何错接都可能导致设备立刻损坏。最后，根据 $\text{X5}$ 定制选项的要求，循环液体的选择必须正确，特别是使用去离子水或特殊介质时，需确保符合 $\text{SMC}$ 推荐的规范。

维护建议：对 SMC INR-244-97B-B-X5 的长期稳定运行来说，定期清洁是重中之重。空冷型设备散热器（Condenser Coil）和防尘网（Dust Filter）的清洁频率直接影响制冷效率和能耗。一旦积灰，制冷效果会急剧下降，系统压力升高。