电话/Phone: 
邮箱/Email: 
WhatsApp: 描述
MTS MTS30M4-38 SERVO 是 MTS Systems Corporation（美特斯系统公司）推出的 ServoLinear 系列伺服直线执行器，属于该品牌中高端精密驱动产品线，主要用于工业自动化中需要高精度线性位移与可控推力输出的场景。作为伺服驱动系统（Servo Drive System）的核心执行部件，它能将伺服电机的旋转运动直接转化为线性机械能，配合 MTS 专用伺服驱动器（如 MD2000 系列）与位移传感器（Temposonics R-Series），实现 ±0.001mm 级别的定位精度，在半导体晶圆搬运、汽车零部件动态测试、航空航天组件精密装配等场景中，承担着保障设备位移精度与推力稳定性的关键角色。
不同于普通气缸或液压缸，MTS MTS30M4-38 SERVO 采用 “电驱 + 机械刚性” 一体化设计，无需液压油或压缩空气，避免了流体泄漏导致的污染与维护难题，更适合半导体、医疗等对洁净度要求高的行业。该型号隶属于 ServoLinear 系列中的 “30M4” 规格，“38” 代表 38mm 有效行程，在结构上优化了导轨摩擦系数（动摩擦系数≤0.001），即使在高频次启停（每秒 3 次）的工况下，也能保持稳定的定位精度，这也是它在精密测试设备领域广泛应用的核心原因。
MTS30M4-38 SERVO
主要特点和优势
超高精度定位能力：MTS MTS30M4-38 SERVO 搭载 MTS 自研的磁致伸缩位移传感器（Temposonics Sensor），分辨率可达 0.1μm，定位精度稳定在 ±0.001mm，重复定位精度（Repeat Positioning Accuracy）≤±0.0005mm，能满足半导体晶圆（直径 300mm）搬运时的微米级对位需求。配合 MTS MD2000 伺服驱动器使用时，可实现电子凸轮（Electronic Cam）功能，让执行器的位移曲线与生产节拍精准同步，大幅提升生产线的加工精度与效率。
高动态响应与推力控制：该伺服直线执行器的额定推力为 30kN，峰值推力可达 45kN，能适应汽车零部件静态加载测试（如车身框架强度测试）的推力需求；同时，其动态响应时间（从 0 加速到最大速度）仅需 0.05 秒，支持 10Hz 的高频往复运动，可用于振动测试设备中模拟产品的动态受力场景。此外，执行器内置推力反馈单元（Force Feedback Unit），能实时监测输出推力，通过闭环控制（Closed-Loop Control）将推力误差控制在 ±1% 以内，避免因推力过载导致的工件损坏。
工业级耐用性与环境适应性：MTS MTS30M4-38 SERVO 的导轨采用高强度不锈钢材质（17-4 PH），表面经硬化处理（硬度 HRC 50-55），耐磨性提升 30%，设计寿命可达 1000 万次往复运动；防护等级达到 IP65，外壳能有效防尘、防喷水，即使在半导体车间的清洗工序（有少量水雾）或汽车测试车间的油污环境中，也能正常工作。工作温度范围覆盖 – 20℃~+60℃，在低温实验室或高温装配线中，无需额外温控设备，降低企业应用成本。
灵活的系统兼容性：执行器支持 PROFINET、EtherCAT 等工业以太网协议（Industrial Ethernet Protocol），可直接对接主流可编程逻辑控制器（PLC）如 Siemens S7-1500、Allen-Bradley ControlLogix，以及分布式控制系统（DCS）如 Emerson DeltaV，无需额外协议转换器。安装方式支持法兰安装、底座安装两种形式，可与不同类型的工装夹具（Fixture）搭配，适配精密机床、医疗设备、测试台等多种设备结构，简化系统集成流程。
The MTS MTS30M4-38 SERVO servo linear actuator redefines precision in industrial motion control, delivering ±0.001mm positioning accuracy and 30kN rated force—ideal for semiconductor wafer handling, automotive component testing, and aerospace assembly. Equipped with MTS’ proprietary Temposonics magnetostrictive sensor, it ensures sub-micron resolution and exceptional repeatability, while the IP65 protection rating and -20°C to +60°C operating range enable reliable performance in harsh or 洁净 environments.
Engineered for dynamic performance, the MTS MTS30M4-38 SERVO achieves a 0.05-second response time and supports 10Hz high-frequency reciprocating motion, making it suitable for vibration testing and high-speed production lines. Its compatibility with PROFINET/EtherCAT protocols and seamless integration with major PLC/DCS platforms simplify system setup, while the oil-free electric drive design eliminates fluid contamination risks—critical for semiconductor and medical applications where cleanliness is paramount.
MTS MTS30M4-38 SERVO 技术规格
| 参数名称 | 参数值 |
| 产品型号 | MTS30M4-38 SERVO |
| 制造商 | MTS Systems Corporation（美特斯系统公司） |
| 产品类型 | 伺服直线执行器（Servo Linear Actuator） |
| 额定推力 | 30kN |
| 峰值推力 | 45kN（持续时间≤10 秒） |
| 有效行程 | 38mm |
| 定位精度 | ±0.001mm（25℃环境温度） |
| 重复定位精度 | ≤±0.0005mm |
| 最大运行速度 | 500mm/s |
| 工作电压 | 220V AC（±10% 波动范围，三相） |
| 工作温度范围 | -20℃ ~ +60℃（无冷凝） |
| 防护等级 | IP65 |
| 位移传感器类型 | 磁致伸缩位移传感器（Temposonics R-Series），分辨率 0.1μm |
| 通信协议 | PROFINET、EtherCAT（可选配 Modbus TCP） |
| 安装方式 | 法兰安装（符合 ISO 6431 标准）、底座安装 |
| 外形尺寸（长 × 宽 × 高） | 280mm × 120mm × 85mm（不含接线端子） |
| 重量 | 约 12kg |
| 驱动适配型号 | MTS MD2000 系列伺服驱动器 |
应用领域
半导体制造行业晶圆搬运：在 300mm 晶圆光刻机的晶圆传输系统中，MTS MTS30M4-38 SERVO 可作为晶圆载台的线性驱动组件，其 ±0.001mm 的定位精度能确保晶圆与光刻镜头的精准对位，避免因位移偏差导致的光刻图案失真；同时，执行器的无油设计符合半导体车间的洁净度要求（Class 100），不会产生油污污染晶圆，保障芯片生产良率。
汽车零部件测试设备：在汽车减震器动态性能测试台中，MTS MTS30M4-38 SERVO 可模拟车辆行驶时的颠簸工况，通过 30kN 额定推力与 10Hz 高频往复运动，对减震器施加动态载荷，同时实时监测减震器的位移响应，帮助测试人员评估减震器的阻尼性能；其 IP65 防护等级能抵御测试台周围的油污与冷却液，确保长期稳定运行。
航空航天组件精密装配：在飞机发动机叶片的装配过程中，MTS MTS30M4-38 SERVO 可驱动装配工装夹具，将叶片精准安装到发动机转子上，其 ±0.0005mm 的重复定位精度能确保叶片之间的间隙误差≤0.002mm，避免因装配偏差导致的发动机运行振动；执行器的高刚性设计（刚性系数 500kN/mm）能抵抗装配过程中的反作用力，保障装配过程稳定。
医疗设备领域精准位移：在质子治疗设备的患者定位平台中，MTS MTS30M4-38 SERVO 可实现平台的线性微调，通过 ±0.001mm 的定位精度，将患者肿瘤位置与质子束焦点精准对齐，减少对周围健康组织的辐射损伤；其宽温设计（-20℃~+60℃）能适应医疗设备机房的温度变化，确保治疗过程中的位移稳定性。
MTS30M4-38 SERVO
相关产品
- MTS MTS20M4-38 SERVO：同属 ServoLinear 系列伺服直线执行器，与MTS MTS30M4-38 SERVO相比，额定推力降至 20kN，重量更轻（约 9kg），适合推力需求较小的场景（如医疗设备定位），其他精度与行程参数一致。
- MTS MTS30M4-50 SERVO：MTS MTS30M4-38 SERVO的长行程版本，有效行程增至 50mm，适配需要更长位移的场景（如大型工件测试台），额定推力与精度保持不变，外形尺寸略有增加（长 300mm）。
- MTS MD2000 SERVO Drive：MTS 专用伺服驱动器，与MTS MTS30M4-38 SERVO完美适配，支持推力 / 位置 / 速度三种控制模式，可实现电子凸轮与同步控制功能，是执行器的核心驱动单元。
- MTS R-Series 位移传感器：MTS 磁致伸缩位移传感器，与MTS MTS30M4-38 SERVO配套使用，可提升执行器的位移测量精度，部分型号支持冗余设计，适合对可靠性要求极高的场景（如航空航天测试）。
- MTS MTS40M4-38 SERVO：ServoLinear 系列高推力型号，额定推力 40kN，峰值推力 60kN，与MTS MTS30M4-38 SERVO相比，适合重型工件测试（如汽车车架强度测试），重量增至 15kg。
- MTS MTS30M4-38-EX SERVO：MTS MTS30M4-38 SERVO的防爆版本，防爆等级 Ex d IIB T4 Ga，适用于石油化工行业的防爆测试设备，其他性能参数与标准版一致。
- MTS MTS30M6-38 SERVO：ServoLinear 系列高速度版本，最大运行速度提升至 800mm/s，与MTS MTS30M4-38 SERVO相比，适合高频次快速位移场景（如高速装配线），推力参数保持不变。
安装与维护
安装前准备：安装MTS MTS30M4-38 SERVO 前，需先检查执行器外观是否有划痕、导轨是否有变形，避免运输损坏；然后确认安装环境符合规格（-20℃~+60℃，相对湿度≤85% 无冷凝），并清理安装台面的粉尘、金属碎屑，防止杂质进入导轨影响精度；此外，需准备 220V AC 三相电源（推荐使用 MTS 原装电源模块 PS-220-5A）、扭矩扳手（用于固定螺栓，拧紧力矩需符合 ISO 6431 标准，法兰安装为 15 N・m）、校准设备（如激光干涉仪，用于安装后定位精度校准），接线时需注意动力线与信号线分开布线，避免电磁干扰（EMI）影响传感器信号。
维护建议：日常使用中，建议每 6 个月对MTS MTS30M4-38 SERVO 进行一次维护，首先用洁净的无尘布擦拭导轨表面，去除灰尘（禁止使用含油清洁剂，避免污染导轨）；然后通过 MTS MD2000 驱动器的诊断界面，检查执行器的运行参数（如推力误差、位移偏差），若超过阈值需及时校准；此外，需定期（每年 1 次）检查位移传感器的信号强度，确保传感器探头与磁环的间隙保持在 0.5~1mm，避免间隙过大导致信号丢失；若执行器长期停用（超过 3 个月），再次启用前需手动推动滑台，检查导轨是否卡顿，同时通过驱动器进行空载运行测试（10 次往复运动），确认性能无衰减。
