MKS RPS AX7695 电源供应单元 – 精密过程控制，稳定电压输出！

描述

MKS RPS AX7695：这块电源供应模块（RPS – Regulated Power Supply）是 MKS Instruments 公司为其高精度测量、控制或气体输送设备定制的核心电源单元。它提供高度稳定、低噪声的直流电压输出，确保与其配套的压力传感器、流量控制器或射频电源等精密仪器能够准确、可靠地工作。制造商：MKS Instruments，产品类型：定制电源模块，核心功能：稳定供电，应用领域：半导体/真空过程控制。这东西专治各种电压不稳、输出漂移的精密仪器“疑难杂症”。

RPS AX7695 MKS 产品概述

兄弟，你手里的 RPS AX7695 MKS 模块，是保障 MKS 精密仪器或过程控制子系统正常运行的**“心脏”。在像半导体晶圆制造、OLED 屏幕镀膜、高精度医疗设备等应用中，对电源质量**的要求远高于普通工业设备。

这款 RPS AX7695 是一种定制化的精密电源供应单元（PSU），它的关键特性包括：

高电压稳定性（High Voltage Regulation）： 它能提供极其稳定的直流输出电压，负载变动和电网波动对其输出影响极小。这对于与其连接的敏感测量仪器（如 MKS 压力计或流量控制器）的测量精度至关重要。

低纹波/低噪声（Low Ripple and Noise）： 在半导体制造中，任何电气噪声都可能干扰到等离子体发生器（RF Generators）或精密传感器的信号采集。RPS AX7695 MKS 的设计旨在提供超低电磁干扰（EMI）和低纹波的电源，确保设备无干扰、高精度地工作。

高可靠性： 它专为7×24 小时连续运行的高科技制造环境设计，具备过压保护（OVP）、过流保护（OCP）和过温保护（OTP）等完善的保护机制，确保系统长期稳定运行。

由于 MKS 的产品线众多（如 Baratron 压力计、Mass Flow Controllers 等），这款 RPS AX7695 最有可能作为某个特定型号的电源子卡或外围控制器的专用供电模块，而不是通用电源。

MKS RPS AX7695

RPS AX7695 MKS 关键技术特性

主要特点和优势

确保测量精度和控制稳定

在半导体和真空工艺中，微小的压力、流量或温度波动都可能导致晶圆报废。RPS AX7695 MKS 的高稳压性能确保了它所连接的传感和执行器电子元件始终在最佳电气环境下工作。这意味着MKS 的质量流量控制器（MFC）能以更高的精度输送气体，Baratron 压力计能提供更准确的真空度读数，从而直接提升了工艺的可重复性（Repeatability）和良率（Yield Rate）。

工业定制化与无缝兼容性

由于 RPS AX7695 MKS 是 MKS 的定制化零件，它与特定的 MKS 主机或控制器之间具有完美的电气和机械兼容性。用户无需担心接口不匹配、电源容量不足或安装问题。更换该模块后，系统即可即插即用（Plug and Play）地恢复到原厂设计性能。对于运维工程师来说，这简化了故障排除过程，缩短了关键设备的停机时间（Downtime）。

强大的抗干扰能力

在高科技工厂里，射频电源、等离子体等设备会产生大量的电磁干扰（EMI）。RPS AX7695 MKS 经过严格的抗干扰设计和屏蔽处理，能够在这种恶劣的电气环境中稳定工作，并防止噪声通过供电线路耦合到敏感的数据采集电路中，保障了仪器的长期稳定运行。

Precision Power for Critical Subsystems

The RPS AX7695 MKS module is a customized, high-precision power supply unit (PSU) engineered by MKS Instruments to support its sensitive instrumentation used in advanced manufacturing, particularly the semiconductor industry. Its key advantage lies in delivering an extremely stable, low-noise DC output, which is critical for maintaining the accuracy and repeatability of connected devices like mass flow controllers, Baratron pressure transducers, and RF matching networks. Designed for 24/7 reliability in electrically noisy environments, the RPS AX7695 MKS features robust protection mechanisms (OVP, OCP) and a low-ripple design to prevent electrical noise from corrupting high-resolution measurements. As an original equipment manufacturer (OEM) part, it guarantees seamless electrical and mechanical compatibility for rapid replacement and minimal tool downtime in critical processes like PVD, CVD, and etching.

应用领域

RPS AX7695 MKS 主要应用于所有使用 MKS Instruments 核心组件的高科技制造领域。

半导体制造: 在刻蚀（Etching）、薄膜沉积（CVD/PVD）、离子注入等关键工艺设备中，为 MKS 的射频发生器、气体流量控制系统和真空测量系统提供稳定电源。

真空镀膜: 在光学镀膜、玻璃镀膜、太阳能电池板制造等真空设备中，为真空泵控制器、高真空计提供稳定可靠的运行电源。

科学研发与医疗设备: 在高能物理实验、质谱仪、核磁共振（NMR）等对电源稳定性要求极高的精密科研或医疗仪器中。

航空航天与特种工业: 在对气体混合、流量分配有高精度要求的特种工业气体输送系统中。

MKS RPS AX7695

安装与维护

安装前准备: RPS AX7695 MKS 通常是内部板卡或子模块，更换前必须断开主设备的交流输入电源，并确保所有内部电容已放电。更换时应佩戴防静电手环。安装时，务必仔细检查所有连接器和螺丝是否紧固到位，防止因接触不良导致输出电压波动或模块过热。

维护建议: 由于是精密电源，不建议现场维修内部元件。主要的维护工作是环境检查：确保其安装位置的通风散热良好，没有灰尘或腐蚀性气体堆积。应定期使用示波器检查其输出电压的纹波和噪声水平，如果发现纹波超标或直流电压漂移，则意味着 RPS AX7695 MKS 内部的滤波电容或稳压元件可能已老化，需要整体更换模块以恢复性能。