描述
AMAT 0021-84842是应用材料公司(AMAT)专为半导体制造领域研发的工业电源模块,属于该公司自动化设备配套的核心动力组件系列,主要定位是为半导体生产设备中的各类控制单元、传感器及执行器提供稳定、精准的直流电力。在半导体制造这种对设备运行稳定性要求极高的场景中,AMAT 0021-84842的性能直接影响着整个生产流程的连续性 —— 一旦电源模块出现故障,很可能导致设备停机,进而造成生产损失,因此其可靠性是设计的核心重点。
从实际应用来看,AMAT 0021-84842不仅适配 AMAT 自家的半导体刻蚀、沉积等核心设备,还能在部分兼容规格的第三方自动化系统中使用,凭借紧凑的结构设计和稳定的输出特性,成为工业现场电力供应的关键一环。与普通工业电源相比,它在抗电磁干扰(EMI)能力和环境适应性上做了强化,更能满足半导体洁净车间的严苛使用需求。
AMAT 0021-84842
主要特点和优势
- 高可靠性供电:AMAT 0021-84842采用宽幅输入电压设计,可适应 100-240V AC 的市电波动,无需额外配置稳压设备,就能输出稳定的 24V DC 电力,电压纹波系数低于 0.5%,有效避免因电压波动对半导体设备精密部件造成的影响,保障设备在光刻、薄膜制备等关键工序中的运行精度。
- 强环境适应性:针对半导体制造车间的特殊环境,AMAT 0021-84842具备出色的抗电磁干扰(Electromagnetic Interference, EMI)能力,通过了工业级 EMC 测试,能在多设备集中运行的车间内,避免与其他自动化设备(如机器人、PLC 控制器)产生信号干扰;同时,其工作温度范围覆盖 0-50℃,湿度适应范围 30%-85%(无凝露),即使在洁净车间的恒温恒湿环境下长期运行,也不会出现性能衰减。
- 紧凑结构与安全设计:AMAT 0021-84842的尺寸仅为 120mm×80mm×40mm(长 × 宽 × 高),采用紧凑型封装,能轻松安装在设备内部的狭小空间中,节省设备整体布局体积;在安全防护上,模块集成了过流保护(Over Current Protection, OCP)、过压保护(Over Voltage Protection, OVP)和短路保护功能,当出现电流过载、输出电压异常或线路短路时,会快速切断供电,防止模块自身及后端设备损坏,降低故障维修成本。
- 长寿命与易维护:模块内部采用高品质电解电容和固态继电器(Solid State Relay, SSR),平均无故障工作时间(Mean Time Between Failures, MTBF)超过 50000 小时,大幅减少更换频率;同时,模块表面设计有状态指示灯,通过不同颜色的灯光(绿色常亮表示正常,红色闪烁表示故障)直观反馈运行状态,维修人员无需拆解设备,就能快速判断故障类型,提升维护效率。
The AMAT 0021-84842 power module stands out in semiconductor manufacturing for its exceptional power stability and environmental resilience. Engineered to address the stringent demands of precision semiconductor processes, it delivers a consistent 24V DC output with minimal ripple, ensuring that sensitive components like lithography tools and deposition systems maintain optimal performance even amid voltage fluctuations. Its robust EMI shielding not only complies with industrial EMC standards but also eliminates cross-interference with adjacent automation equipment, a critical advantage in dense manufacturing environments where multiple high-precision devices operate simultaneously.
What further distinguishes the AMAT 0021-84842 is its balance of compact design and robust safety features. Measuring just 120mm×80mm×40mm, it fits seamlessly into space-constrained equipment enclosures without compromising on power capacity. The integrated OCP, OVP, and short-circuit protection mechanisms provide multi-layered safeguards, minimizing downtime by preventing cascading failures. Combined with a MTBF of over 50,000 hours, this module offers long-term reliability that directly translates to improved productivity and reduced maintenance costs for semiconductor manufacturers.
AMAT 0021-84842 技术规格
参数名称 | 参数值 |
产品型号 | AMAT 0021-84842 |
制造商 | 应用材料公司(AMAT) |
产品类型 | 工业直流电源模块 |
输入电压范围 | 100-240V AC,50/60Hz |
输出电压 | 24V DC(±0.5% 精度) |
额定输出电流 | 5A |
电压纹波系数 | ≤0.5%(满载状态) |
工作温度范围 | 0-50℃ |
工作湿度范围 | 30%-85% RH(无凝露) |
防护功能 | 过流保护、过压保护、短路保护 |
尺寸(长 × 宽 × 高) | 120mm×80mm×40mm |
平均无故障时间(MTBF) | ≥50000 小时 |
安装方式 | DIN 导轨安装 / 螺钉固定 |
应用领域
AMAT 0021-84842最核心的应用领域是半导体制造行业,尤其适配 AMAT 旗下的各类半导体核心设备 —— 在刻蚀设备中,它为设备的射频电源控制单元和晶圆夹持机构提供稳定电力,确保刻蚀深度和图形精度符合工艺要求;在化学气相沉积(CVD)设备里,它为加热腔室的温度传感器和气体流量控制器供电,保障薄膜沉积过程中的参数稳定,避免因供电波动导致薄膜厚度不均。
除了 AMAT 自家设备,AMAT 0021-84842还可应用于兼容规格的第三方半导体设备,比如部分晶圆检测设备和封装测试设备,为这些设备的自动化控制模块(如 PLC、运动控制器)提供可靠直流电源。在半导体洁净车间的集中控制系统中,它也能作为分布式电源节点,为车间内的环境监测传感器(如温度、湿度、洁净度传感器)供电,确保车间环境参数实时上传,满足半导体生产对环境的严格要求。
此外,在工业自动化领域的高端精密设备中,AMAT 0021-84842也有少量应用,比如精密电子元件的激光打标设备、微型传感器的校准设备等,这些设备同样需要低纹波、高稳定的直流电源来保障运行精度,而AMAT 0021-84842的性能恰好能满足这类需求,成为高端精密制造领域的可靠动力组件。
相关产品
- AMAT 0021-84843:与AMAT 0021-84842同属 AMAT 电源模块系列,输出电压相同(24V DC),但额定输出电流提升至 8A,适用于电力需求更高的半导体设备部件,如大型晶圆传输机器人的驱动单元。
- AMAT 0021-84841:该型号是AMAT 0021-84842的低电流版本,输出电流为 3A,尺寸更紧凑(100mm×70mm×35mm),适合为半导体设备中的小型传感器和微型执行器供电,如晶圆位置检测传感器。
- AMAT 0010-23716:属于 AMAT 的控制电源模块,与AMAT 0021-84842的 “动力供电” 定位不同,它主要为设备的主控单元(如 CPU 模块、通信模块)提供高精度低压电源(5V DC/12V DC 双输出),常与AMAT 0021-84842搭配使用,构成半导体设备的完整供电系统。
- AMAT 0019-14157:AMAT 的电源适配器,可与AMAT 0021-84842配套使用,当设备需要外接临时电源进行调试或维修时,该适配器能将市电转换为适配AMAT 0021-84842的输入电压,方便现场维护操作。
- AMAT 0021-84844:AMAT 0021-84842的宽温升级版本,工作温度范围扩展至 – 20℃-60℃,具备更强的环境适应性,适用于半导体制造车间中温度波动较大的区域,或户外临时搭建的设备测试平台。
- AMAT 0021-84845:集成了通信功能的智能电源模块,相比AMAT 0021-84842,增加了 RS485 通信接口,可实时上传电源运行参数(如输出电压、电流、温度)至设备主控系统,方便远程监控和故障诊断,适合自动化程度更高的半导体生产线。
AMAT 0021-84842
安装与维护
安装前准备:安装AMAT 0021-84842前,需先确认设备安装位置的电压是否在模块输入电压范围(100-240V AC)内,避免因电压不匹配导致模块损坏;同时,清理安装区域的灰尘和杂物,尤其是 DIN 导轨(若采用导轨安装)需保持平整,无锈蚀或变形,确保模块安装牢固。安装时,需注意模块的输入输出接线极性,按照模块外壳上的标识(“L”“N” 为输入,“+”“-” 为输出)正确接线,接线完成后需用万用表检测接线是否正确,避免短路风险;若采用螺钉固定,螺钉扭矩需控制在 0.8-1.2N・m,防止扭矩过大损坏模块外壳或内部元件。
维护建议:日常维护AMAT 0021-84842时,需定期(建议每 3 个月)检查模块表面的状态指示灯,确保绿色常亮(正常运行状态),若出现红色闪烁,需及时停机排查故障,可先检查输入电压是否正常,再检查输出端是否存在过载或短路情况;每 6 个月需对模块进行除尘处理,用干燥的压缩空气轻轻吹除模块表面和散热孔的灰尘,避免灰尘堆积影响散热,导致模块过热损坏;若模块出现故障需要更换,需选择与AMAT 0021-84842规格完全一致的产品,更换后需进行空载测试(输出电压是否稳定)和带载测试(接入实际负载后运行 30 分钟,观察是否正常),确认无误后再投入正式使用。