AMAT 0010-23716 电源模块 – 半导体设备专用,稳定供电保障生产!

AMAT 0010-23716是全球半导体设备巨头 Applied Materials(AMAT)推出的一款工业级专用电源模块,主要适配 AMAT 旗下刻蚀机、薄膜沉积设备等半导体核心生产设备,承担设备关键部件的稳定供电任务。在半导体制造流程中,电力供应的稳定性直接影响晶圆加工精度与产品良率,而AMAT 0010-23716凭借精准的电压输出与抗干扰设计,成为保障设备连续、稳定运行的重要组件。

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AMAT 0010-23716是全球半导体设备巨头 Applied Materials(AMAT)推出的一款工业级专用电源模块,主要适配 AMAT 旗下刻蚀机、薄膜沉积设备等半导体核心生产设备,承担设备关键部件的稳定供电任务。在半导体制造流程中,电力供应的稳定性直接影响晶圆加工精度与产品良率,而AMAT 0010-23716凭借精准的电压输出与抗干扰设计,成为保障设备连续、稳定运行的重要组件。

 

这款AMAT 0010-23716电源模块隶属于 AMAT 设备通用配件系列,并非单一设备专属,而是可兼容多个型号的半导体生产设备,大大提升了备件的通用性与采购便利性。对于半导体工厂而言,储备AMAT 0010-23716这类核心电源备件,能有效缩短设备故障停机时间,降低因供电问题导致的生产损失,是半导体设备维护体系中不可或缺的一环。

AMAT 0010-23716

AMAT 0010-23716

主要特点和优势

高稳定性供电,适配半导体严苛需求

AMAT 0010-23716最核心的优势在于其卓越的供电稳定性,输出电压波动误差控制在 ±1% 以内,完全满足半导体制造(Semiconductor Manufacturing)中对电力精度的严苛要求。即使在工厂电网电压小幅波动的情况下,模块也能通过内置的稳压电路(Voltage Stabilization Circuit)快速调整,确保设备关键部件如射频电源、精密电机等获得持续稳定的电力,避免因电压波动导致的晶圆加工缺陷。

宽环境适应性,耐受工业复杂工况

考虑到半导体工厂的生产环境特点,AMAT 0010-23716在设计上强化了环境适应性。模块支持 0-55℃的宽工作温度范围,同时具备 IP20 的防护等级(Ingress Protection Rating),能有效防尘、防轻微水汽侵入,即使长期处于洁净车间的恒温恒湿环境或设备密集的狭小空间内,也能保持稳定运行,不会因环境因素导致性能衰减或故障。

高兼容性与长寿命,降低综合成本

AMAT 0010-23716并非局限于单一型号设备,而是兼容 AMAT 刻蚀机(如 Centura 系列)、物理气相沉积(PVD,Physical Vapor Deposition)设备等多个产品线,减少了工厂备件的种类与库存压力。此外,模块采用工业级耐高温元器件(High-Temperature Resistant Components),平均无故障工作时间(MTBF,Mean Time Between Failures)超过 50000 小时,大幅降低了备件更换频率与维护成本,为半导体工厂的长期稳定生产提供支持。

 

The AMAT 0010-23716 power module stands out for its exceptional power stability, a critical attribute in semiconductor manufacturing where even minor voltage fluctuations can compromise wafer quality. Its output voltage deviation is controlled within ±1%, ensuring consistent power supply to critical equipment components like RF generators and precision motors. This level of precision directly contributes to reducing manufacturing defects and improving overall production yield.

 

Designed to thrive in harsh industrial environments, the AMAT 0010-23716 offers broad environmental adaptability. With an operating temperature range of 0-55℃ and an IP20 ingress protection rating, it resists dust and minor moisture intrusion—common challenges in semiconductor cleanrooms and equipment-dense spaces. Its robust construction ensures long-term reliability, minimizing unplanned downtime and supporting continuous 24/7 semiconductor production operations.

AMAT 0010-23716 技术规格

参数名称 参数值
产品型号 AMAT 0010-23716
制造商 AMAT(Applied Materials)
产品类型 半导体设备专用电源模块
输入电压范围 100-240V AC(50/60Hz)
输出电压 24V DC(固定输出)
输出功率 50W
输出电压精度 ±1%
工作温度范围 0-55℃
存储温度范围 -20-85℃
防护等级 IP20
平均无故障工作时间(MTBF) ≥50000 小时
尺寸(长 × 宽 × 高) 120mm×80mm×40mm(近似值)
重量 约 300g

应用领域

AMAT 0010-23716作为半导体设备专用电源模块,其核心应用场景集中在半导体晶圆制造领域,尤其是 AMAT 品牌的各类核心生产设备。在刻蚀工艺环节,它为刻蚀机的射频匹配网络(RF Matching Network)提供稳定供电,确保等离子体密度与刻蚀速率的稳定,避免因电力波动导致的刻蚀深度不均;在薄膜沉积环节,无论是 PVD 还是化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)设备,AMAT 0010-23716都能为沉积腔室的加热模块、气体控制阀门等部件提供精准电力,保障薄膜厚度与均匀性达标。

 

除了半导体晶圆制造,AMAT 0010-23716也少量应用于 AMAT 旗下的半导体封装测试设备,如晶圆探针台等,为设备的精密运动机构供电。此外,在部分半导体设备维修服务商与备件供应商处,AMAT 0010-23716也是重点储备的备件之一,用于快速响应工厂的设备维修需求,帮助工厂缩短停机时间,维持生产节奏。对于从事半导体设备翻新、改造的企业而言,这款模块也是保障翻新设备性能达标的关键组件。

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  1. AMAT 0010-23717:与AMAT 0010-23716同系列电源模块,输出功率提升至 75W,适用于电力需求更高的设备部件,可作为高负载场景下的替代选择。
  2. AMAT 0010-23715:输出电压为 12V DC 的同系列模块,供电参数与AMAT 0010-23716互补,适配设备中需要低电压供电的部件。
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  4. AMAT 0019-40556:AMAT 设备专用电源适配器,常与AMAT 0010-23716配套使用,用于将工厂电网电压预处理后输入模块,进一步提升供电稳定性。
  5. AMAT 0010-23720:宽温版电源模块,工作温度范围扩展至 – 10-60℃,可在更极端的环境下替代AMAT 0010-23716使用。
  6. AMAT 0010-23719:紧凑型电源模块,尺寸比AMAT 0010-23716小 30%,适用于设备内部空间狭小的安装场景。
  7. AMAT 0010-23721:高效节能款模块,转换效率比AMAT 0010-23716提升 5%,适合追求低能耗的半导体工厂。
AMAT 0010-23716

AMAT 0010-23716

安装与维护

安装前准备:安装AMAT 0010-23716前,需先确认目标设备的电源接口规格是否与模块匹配,尤其是输入电压范围(100-240V AC)是否符合工厂电网条件,避免因电压不匹配导致模块损坏。同时,需关闭设备总电源,佩戴防静电手环(ESD Wrist Strap),防止静电对模块及设备内部元器件造成损伤;还需清理安装位置的灰尘与杂物,确保模块安装后散热通畅,避免因散热不良影响性能。

 

安装要点:将AMAT 0010-23716对准设备内的安装卡槽,轻轻推入并固定螺丝,注意螺丝扭矩控制在 0.5-0.8N・m,避免过紧损坏模块外壳或过松导致接触不良。随后连接输入与输出线缆,确保线缆接头插紧,无松动;安装完成后,先接通设备总电源,通过设备控制面板检查AMAT 0010-23716的输出电压是否稳定在 24V DC,确认无异常后再启动设备正常运行。

 

维护建议:日常维护中,建议每 3 个月对AMAT 0010-23716进行一次外观检查,查看模块外壳是否有破损、线缆接头是否松动,若发现灰尘堆积,可使用干燥的压缩空气轻轻吹扫模块表面及散热孔。同时,通过设备监控系统关注模块的工作温度,若温度持续超过 50℃,需检查散热环境是否正常,避免长期高温运行缩短模块寿命。